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发明名称
摘要
申请公布号 JPH0682832(B2) 申请公布日期 1994.10.19
申请号 JP19850155556 申请日期 1985.07.15
申请人 HITACHI LTD 发明人 OIKAWA SABURO;YAO TSUTOMU;SATO YUKIMASA;KIMURA ARATA
分类号 H01L29/73;H01L21/331;H01L29/72;H01L29/74;H01L29/744;(IPC1-7):H01L29/74 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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