发明名称 FOREIGN MATTER INSPECTION METHOD
摘要
申请公布号 JPH06288936(A) 申请公布日期 1994.10.18
申请号 JP19930079894 申请日期 1993.04.06
申请人 FUJIKURA LTD 发明人 GOTO KAZUHIKO;YAMANOUCHI HIROSHI;TAKAHASHI SUSUMU
分类号 G01N21/89;G01N21/88;G01N21/892;G01N21/93;G06T1/00;(IPC1-7):G01N21/89;G06F15/62 主分类号 G01N21/89
代理机构 代理人
主权项
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