| 发明名称 |
PRESSURE SENSOR DEVICE, ITS PREPARATION AND ETCHING LIQUID |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06291335(A) |
申请公布日期 |
1994.10.18 |
| 申请号 |
JP19930078027 |
申请日期 |
1993.04.05 |
| 申请人 |
OKI SHISUTETSUKU TOKAI:KK;OKI ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
MURAKAMI TOMOAKI;KATO TAKAO |
| 分类号 |
G01L9/04;B81B3/00;B81C1/00;G01L9/00;H01L21/308;H01L29/84;(IPC1-7):H01L29/84 |
主分类号 |
G01L9/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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