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发明名称 SCANNING PROBE MICROSCOPE
摘要
申请公布号 JPH06288757(A) 申请公布日期 1994.10.18
申请号 JP19930073560 申请日期 1993.03.31
申请人 OLYMPUS OPTICAL CO LTD 发明人 KAJIMURA HIROSHI
分类号 G01B21/30;G01N37/00;G01Q20/02;G01Q60/24;(IPC1-7):G01B21/30 主分类号 G01B21/30
代理机构 代理人
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