发明名称 METODO Y DISPOSITIVO PARA MEDIR RADIACION DE TEMPERATURA EMPLEANDO UN PIROMETRO EN EL QUE SE USAN LAMPARAS DE COMPENSACION.
摘要 METODO PARA MEDIR LA RADIACION QUE SE ORIGINA EN UN LADO DE UNA RODAJA DE MATERIAL SEMICONDUCTOR UTILIZANDO UN PIROMETRO EN DONDE LA RADIACION DE COMPENSACION SE PROYECTA SOBRE ESE LADO PARA COMPENSAR LA REFLECTIVIDAD DE LA RODAJA DE MATERIAL Y EN DONDE LA INTENSIDAD DE LA RADIACION DE COMPENSACION SE CONTROLA DEPENDIENDO DE LA CANTIDAD DE RADIACION MEDIDA POR EL PIROMETRO.
申请公布号 ES2057735(T3) 申请公布日期 1994.10.16
申请号 ES19910201121T 申请日期 1991.05.09
申请人 INTERUNIVERSITAIR MICROELEKTRONICA CENTRUM VZW 发明人 VANDENABEELE, PETER MICHEL NOEL;MAEX, KAREN IRMA JOZEF
分类号 G01J5/00;G01J5/52;H01L21/66;(IPC1-7):G01J5/00 主分类号 G01J5/00
代理机构 代理人
主权项
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