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发明名称
Vorrichtung für die Determination der Temperatur von Wafern oder Dünnschichten.
摘要
申请公布号
DE68916447(T2)
申请公布日期
1994.10.13
申请号
DE19896016447T
申请日期
1989.02.16
申请人
INTERNATIONAL STANDARD ELECTRIC CORP., NEW YORK, N.Y., US
发明人
AMITH, AVRAHAM, ROANOKE VIRGINIA 24014, US;NASELLI, CHARLES, ROANOKE VIRGINIA 24019, US;NEVIN, C. SCOTT, ALBION INDIANA 46701, US
分类号
G01K11/12;G01N21/17;H01L21/66;H01L31/0248;(IPC1-7):G01K11/12;G05D23/27
主分类号
G01K11/12
代理机构
代理人
主权项
地址
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