发明名称
摘要
申请公布号 JPH0680690(B2) 申请公布日期 1994.10.12
申请号 JP19890303760 申请日期 1989.11.22
申请人 SEIEI KOSAN KK 发明人 SHIMIZU KATSUO;KATAKURA KAZUO
分类号 H01L21/50;(IPC1-7):H01L21/50 主分类号 H01L21/50
代理机构 代理人
主权项
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