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发明名称 Testvorrichtung zur Durchführung eines Realisierungsverfahrens von Halbleiterstrukturen.
摘要
申请公布号 DE3851370(D1) 申请公布日期 1994.10.13
申请号 DE19883851370 申请日期 1988.06.01
申请人 N.V. PHILIPS' GLOEILAMPENFABRIEKEN, EINDHOVEN, NL 发明人 THEETEN, JEAN-BERNARD, F-75007 PARIS, FR;AUTIER, PHILIPPE, F-75007 PARIS, FR;AUGER, JEAN-MARC, F-75007 PARIS, FR
分类号 H01L21/302;G01B11/06;G01N21/55;H01J37/32;H01L21/306;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306;H01L21/66 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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