| 发明名称 |
SUBSTRATE CARRYING AND PROCESSING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06283296(A) |
申请公布日期 |
1994.10.07 |
| 申请号 |
JP19930071788 |
申请日期 |
1993.03.30 |
| 申请人 |
TOKYO OHKA KOGYO CO LTD |
发明人 |
KOBAYASHI KATSURO;YAMAGUCHI KAZUNOBU;KUDO KATSUHIKO;SHIMAI FUTOSHI;SAGO HIROHITO |
| 分类号 |
H05F3/06;(IPC1-7):H05F3/06 |
主分类号 |
H05F3/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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