发明名称 METHOD AND DEVICE FOR MEASURING SURFACE SHAPE
摘要
申请公布号 JPH06281427(A) 申请公布日期 1994.10.07
申请号 JP19930070632 申请日期 1993.03.30
申请人 NIKON CORP 发明人 ICHIKAWA HAJIME
分类号 G01B9/02;G01B11/24;G01M11/00;(IPC1-7):G01B11/24 主分类号 G01B9/02
代理机构 代理人
主权项
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