| 发明名称 |
CLEAVER, FILM GROWING DEVICE EQUIPPED THEREWITH AND FILM FORMING METHOD ON CLEAVED END FACE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06283821(A) |
申请公布日期 |
1994.10.07 |
| 申请号 |
JP19930068716 |
申请日期 |
1993.03.26 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
FUKUSHIMA TAKEHIRO;FURUYA AKIRA;KITO YASUHIRO;SUGANO MASAMI;TANAHASHI TOSHIYUKI |
| 分类号 |
H01L21/318;H01S5/00;H01S5/02;(IPC1-7):H01S3/18 |
主分类号 |
H01L21/318 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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