| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE AND SEMICONDUCTOR MANUFACTURING DEVICE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH06283511(A) |
申请公布日期 |
1994.10.07 |
| 申请号 |
JP19930068213 |
申请日期 |
1993.03.26 |
| 申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
MATSUBARA JIYUNKO;MATSUKAWA KAZUTO;HARADA SHIGERU |
| 分类号 |
B05C5/00;B05C11/08;H01L21/027;H01L21/316;H01L21/3205;(IPC1-7):H01L21/316;H01L21/320 |
主分类号 |
B05C5/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
