发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPS5961159(A) 申请公布日期 1984.04.07
申请号 JP19820171823 申请日期 1982.09.30
申请人 TOSHIBA KK 发明人 ONGA SHINJI;DAN MAKOTO
分类号 H01L27/00;H01L21/331;H01L21/8249;H01L27/06;H01L29/73;H01L29/78;H01L29/786 主分类号 H01L27/00
代理机构 代理人
主权项
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