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发明名称 LSI
摘要
申请公布号 JPH06283462(A) 申请公布日期 1994.10.07
申请号 JP19930068975 申请日期 1993.03.29
申请人 HITACHI METALS LTD 发明人 MURATA HIDEO;KAWAKAMI AKIRA;HIRAKI AKITOSHI;HIRAKAWA EIJI
分类号 H01L21/28;H01L21/285;H01L21/324;(IPC1-7):H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
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