| 发明名称 |
PRODUCTION OF ORGANIC THIN FILM BY ULTRAVIOLET LASER AND DEVICE THEREFOR |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH06280024(A) |
申请公布日期 |
1994.10.04 |
| 申请号 |
JP19930091947 |
申请日期 |
1993.03.26 |
| 申请人 |
KAWASAKI HEAVY IND LTD |
发明人 |
NAGAI CHIAKI;HIGAKI NORIHITO;MURATA OSAMU |
| 分类号 |
C08J5/18;C23C14/12;C23C14/28;C23C16/48;(IPC1-7):C23C16/48 |
主分类号 |
C08J5/18 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
