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发明名称 PLASMA PROCESSING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06279984(A) 申请公布日期 1994.10.04
申请号 JP19930067792 申请日期 1993.03.26
申请人 HORIIKE YASUHIRO;KOBE STEEL LTD 发明人 HORIIKE YASUHIRO;NARAI SATORU
分类号 C23C14/00;C23C14/24;C23C16/50;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;H05H1/46;(IPC1-7):C23C14/00 主分类号 C23C14/00
代理机构 代理人
主权项
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