| 发明名称 |
FORMING METHOD OF CERAMIC THIN FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06279183(A) |
申请公布日期 |
1994.10.04 |
| 申请号 |
JP19930090612 |
申请日期 |
1993.03.26 |
| 申请人 |
TOKYO INST OF TECHNOL |
发明人 |
KAWASAKI MASASHI;KOINUMA HIDEOMI;JIYANPIN GON |
| 分类号 |
C30B23/08;B82B1/00;C30B25/18;C30B29/22;(IPC1-7):C30B25/18 |
主分类号 |
C30B23/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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