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发明名称 METHOD OF FORMING ELEMENT ISOLATING STRUCTURE
摘要
申请公布号 JPH06275609(A) 申请公布日期 1994.09.30
申请号 JP19930062212 申请日期 1993.03.22
申请人 ROHM CO LTD 发明人 NAKAMURA TOMOHITO
分类号 H01L21/76;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/316 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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