发明名称 MANUFACTURE OF VERTICAL SEMICONDUCTOR ELEMENT
摘要
申请公布号 JPH06275839(A) 申请公布日期 1994.09.30
申请号 JP19930085667 申请日期 1993.03.19
申请人 NIPPON STEEL CORP 发明人 AMANO SHIGEKI
分类号 H01L29/78;H01L21/336;(IPC1-7):H01L29/784 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
地址