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发明名称 PROBE DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06273445(A) 申请公布日期 1994.09.30
申请号 JP19930085661 申请日期 1993.03.18
申请人 TOKYO ELECTRON LTD 发明人 YAMAGUCHI MASAO
分类号 G01R1/073;G01R31/26;H01L21/66;(IPC1-7):G01R1/073 主分类号 G01R1/073
代理机构 代理人
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