| 发明名称 |
VACUUM TREATING APPARATUS |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH06275703(A) |
申请公布日期 |
1994.09.30 |
| 申请号 |
JP19930089342 |
申请日期 |
1993.03.24 |
| 申请人 |
EBARA CORP |
发明人 |
KONDO FUMIO;TAKEUCHI NORIYUKI;MATSUMURA MASAO |
| 分类号 |
H01L21/324;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 |
主分类号 |
H01L21/324 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
