| 发明名称 |
SCANNING PROBE MICROSCOPE AND WORK DEVICE USING IT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06273111(A) |
申请公布日期 |
1994.09.30 |
| 申请号 |
JP19930083951 |
申请日期 |
1993.03.19 |
| 申请人 |
CANON INC |
发明人 |
WATANABE NOBUO;TAKAMATSU OSAMU;OKAMURA YOSHIMASA;YANAGISAWA YOSHIHIRO;SHIMADA YASUHIRO |
| 分类号 |
G01B7/34;G01N37/00;G01Q60/10;G01Q70/04;G01Q80/00;G11B9/00;G11B9/14;H01J37/28;(IPC1-7):G01B7/34 |
主分类号 |
G01B7/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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