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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06275558(A) 申请公布日期 1994.09.30
申请号 JP19930323543 申请日期 1993.12.22
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 YANO KOSAKU;MURAKAMI TOMOYASU;ENDO MASATAKA;NOMURA NOBORU
分类号 H01L21/28;H01L21/285;(IPC1-7):H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
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