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发明名称 Verfahren zur Herstellung von dünnen supraleitenden Schichten.
摘要
申请公布号 DE3850285(T2) 申请公布日期 1994.09.29
申请号 DE19883850285T 申请日期 1988.03.25
申请人 NISSIN ELECTRIC CO., LTD., KYOTO, JP 发明人 NOGAWA, SHUICHI C/O NISSIN ELECTRIC CO., LTD., KYOTO-SHI KYOTO, JP;KAMIJO, EIJI C/O NISSIN ELECTRIC CO., LTD., KYOTO-SHI KYOTO, JP
分类号 C23C14/08;C23C14/34;C30B29/22;H01B12/06;H01B13/00;H01L39/12;H01L39/24;(IPC1-7):H01L39/24 主分类号 C23C14/08
代理机构 代理人
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