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发明名称 Liquid vaporizer-feeder.
摘要
申请公布号 EP0498622(B1) 申请公布日期 1994.09.28
申请号 EP19920300942 申请日期 1992.02.04
申请人 APPLIED MATERIALS, INC.;LINTEC CO., LTD. 发明人 NISHIZATO, HIROSHI;ONO, HIROFUMI
分类号 C23C16/44;B01F3/02;B01J3/02;C23C16/448;C23C16/455;H01L21/205;H01L21/31;(IPC1-7):B01J3/02 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
主权项
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