| 发明名称 | 沉积固体材料，特别是精细粒料的装置和方法及该方法的应用 | ||
| 摘要 | 沉积固体材料、特别是精细粒料的装置和方法以及这个方法的应用。特别为制作精细氧化物粉末，该反应气体混合物通过一个在反应容器内安置的圆筒空心体进行输入。该空心体置有许多小的流出口、每个流出口的横截面最大为2mm<SUP>2</SUP>，而空心圆筒体横截面是每个流出口横截面的100多倍。该空心体与地电位连接，同时围绕空心体置有一个接阴极的栅网；而反应容器壁作为阳极连接。 | ||
| 申请公布号 | CN1092820A | 申请公布日期 | 1994.09.28 |
| 申请号 | CN94101146.1 | 申请日期 | 1994.01.27 |
| 申请人 | 克鲁伯·韦狄亚有限公司 | 发明人 | 尤多·凯尼格;拉尔夫·泰伯斯凯 |
| 分类号 | C23C16/44;C23C16/30 | 主分类号 | C23C16/44 |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人 | 卢宁 |
| 主权项 | 1、通过一个等离子化学过程，沉积固体材料的装置，该固体材料是从由气态的金属氯化物、氢、氧和/或氮和/或一种含碳的气体组成的反应混合物中通过辉光放电而电离沉积出的，该装置具有一个反应容器(1)，其中，通入一个带多个流出口(6)的气体输入管道(5)，其特征在于：该气体输入管道作为至少一个长形的空心体(4)延伸在反应容器中，该空心体(4)具有多个流出口(6)，而每个流出口横截面最大为2mm2，而空心体(4)的横截面大于流出口(6)横截面的100倍；同时，置于零电位的空心体(4)被一个作为阴极连接的栅网(7)或一个带有许多孔的平面形结构所包围。 | ||
| 地址 | 联邦德国埃森 | ||