| 发明名称 |
OUTPUT CONTROL METHOD FOR PLASMA ELECTRON GUN AND PLASMA ELECTRON GUN |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06267471(A) |
申请公布日期 |
1994.09.22 |
| 申请号 |
JP19930051758 |
申请日期 |
1993.03.12 |
| 申请人 |
RIKAGAKU KENKYUSHO;JEOL LTD |
发明人 |
HARA TAMIO;HAMAGAKI MANABU;SHIMIZU YASUSHI;OZAWA SHINOBU |
| 分类号 |
C23C14/32;H01J37/077;(IPC1-7):H01J37/077 |
主分类号 |
C23C14/32 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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