| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR DEVICE SEPARATEDLY INSTALLED ON SUBSTRATE AND ITS MANUFACTURE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06268139(A) |
申请公布日期 |
1994.09.22 |
| 申请号 |
JP19930076351 |
申请日期 |
1993.03.10 |
| 申请人 |
TOKYO GAS CO LTD |
发明人 |
KONDA NORIHIRO;MORITA TAKAHIRO |
| 分类号 |
G01K1/14;G01K1/20;G01N27/00;G01N27/12;H01L23/50;(IPC1-7):H01L23/50 |
主分类号 |
G01K1/14 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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