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发明名称 STEP AND REPEAT SYSTEM ELECTRON BEAM LITHOGRAPHY
摘要
申请公布号 JPH06267831(A) 申请公布日期 1994.09.22
申请号 JP19930051768 申请日期 1993.03.12
申请人 JEOL LTD 发明人 GOTO NOBUO
分类号 H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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