| 发明名称 |
FORMING DEVICE FOR ALLOY THIN FILM |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH06264244(A) |
申请公布日期 |
1994.09.20 |
| 申请号 |
JP19930052179 |
申请日期 |
1993.03.12 |
| 申请人 |
KAWASAKI STEEL CORP |
发明人 |
KONDO HIDEKAZU;YAMAMOTO HIROSHI;OOTA TOMOHIRO |
| 分类号 |
C23C16/44;C23C16/448;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/3205;H01L23/52;(IPC1-7):C23C16/44;H01L21/320 |
主分类号 |
C23C16/44 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
