| 发明名称 |
SINGLE CRYSTAL GROWING APPARATUS AND PRODUCTION OF SINGLE CRYSTAL |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH06263582(A) |
申请公布日期 |
1994.09.20 |
| 申请号 |
JP19930045293 |
申请日期 |
1993.03.05 |
| 申请人 |
SHIN ETSU CHEM CO LTD |
发明人 |
KUWABARA YOSHINORI;MAKIKAWA SHINJI;RIYUUOU TOSHIHIKO |
| 分类号 |
C30B11/00;C30B29/40;H01L21/208;(IPC1-7):C30B11/00 |
主分类号 |
C30B11/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
