| 发明名称 |
FIELD-EFFECT TRANSISTOR FOR PROCESS MONITORING |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06260512(A) |
申请公布日期 |
1994.09.16 |
| 申请号 |
JP19930004414 |
申请日期 |
1993.01.14 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
KAI KENICHIRO;ARAI SHIGEMITSU |
| 分类号 |
H01L21/338;H01L29/812;(IPC1-7):H01L21/338 |
主分类号 |
H01L21/338 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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