发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH06260303(A) 申请公布日期 1994.09.16
申请号 JP19930047730 申请日期 1993.03.09
申请人 HITACHI LTD;HITACHI DEVICE ENG CO LTD 发明人 SHIMAMOTO HIROMI;UCHINO TAKASHI;SHIBA TAKEO;ONISHI KAZUHIRO;TAMAOKI YOICHI;KOBAYASHI TAKASHI;KIKUCHI TOSHIYUKI;IKEDA TAKAHIDE
分类号 H01C7/06;H01L21/02;H01L21/822;H01L27/04;H01L27/06;(IPC1-7):H01C7/06 主分类号 H01C7/06
代理机构 代理人
主权项
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