| 发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR WET TREATMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06260480(A) |
申请公布日期 |
1994.09.16 |
| 申请号 |
JP19930105991 |
申请日期 |
1993.04.09 |
| 申请人 |
NEC CORP |
发明人 |
AOKI HIDEMITSU;NAKAJIMA TSUTOMU |
| 分类号 |
C02F1/46;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/304;H01L21/308;(IPC1-7):H01L21/308 |
主分类号 |
C02F1/46 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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