发明名称 MANUFACTURE OF MULTILAYER WIRING STRUCTURE
摘要
申请公布号 JPH06260456(A) 申请公布日期 1994.09.16
申请号 JP19930070783 申请日期 1993.03.08
申请人 NIKON CORP 发明人 SUZUKI MUTSUMI
分类号 H01L21/28;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/302;H01L21/90 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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