发明名称 DEVICE FOR CONTROL OVER TECHNOLOGICAL PROCESS OF REMOVAL OR APPLICATION OF TRANSPARENT OF SEMI-TRANSPARENT COATS
摘要
申请公布号 RU2019888(C1) 申请公布日期 1994.09.15
申请号 SU19904859336 申请日期 1990.08.24
申请人 NAUCHNO-ISSLEDOVATELSKIJ INSTITUT TOCHNOGO MASHINOSTROENIYA 发明人 KHAJNATSKIJ ANDREJ S
分类号 H01L21/66;H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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