发明名称 DEVICE FOR VAPOR DEPOSITION BY ELECTRON BEAM
摘要
申请公布号 JPH06248435(A) 申请公布日期 1994.09.06
申请号 JP19930037206 申请日期 1993.02.26
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 SUMIYOSHI MASAO
分类号 C23C14/24;H01L21/203;(IPC1-7):C23C14/24 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
主权项
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