| 发明名称 |
MEASURING DEVICE FOR TEMPERATURE OF SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06244259(A) |
申请公布日期 |
1994.09.02 |
| 申请号 |
JP19930051597 |
申请日期 |
1993.02.16 |
| 申请人 |
DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD |
发明人 |
TAKAHASHI MITSUKAZU;CHIBA TAKATOSHI;AKIYOSHI KATSUICHI |
| 分类号 |
G01K7/00;G01K1/16;H01L21/324;H01L21/66;H05B3/00;(IPC1-7):H01L21/66 |
主分类号 |
G01K7/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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