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发明名称
SEMICONDUCTOR DEVICE AND METHOD FOR CONVEYING THE SAME
摘要
申请公布号
JPH06239426(A)
申请公布日期
1994.08.30
申请号
JP19930050022
申请日期
1993.02.15
申请人
SONY CORP
发明人
SAITO TAKASHI
分类号
B65G11/16;B65G11/20;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):B65G11/16
主分类号
B65G11/16
代理机构
代理人
主权项
地址
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