发明名称 MANUFACTURE OF INTEGRATED CIRCUIT AND INTEGRATED CIRCUIT BASED ON THE MANUFACTURING METHOD
摘要
申请公布号 JPH06236974(A) 申请公布日期 1994.08.23
申请号 JP19930276149 申请日期 1993.10.07
申请人 PHILIPS ELECTRON NV 发明人 ANDORUU IAN UOOKAA
分类号 H01L21/8247;H01L27/105;H01L27/115;H01L29/788;H01L29/792;(IPC1-7):H01L27/115 主分类号 H01L21/8247
代理机构 代理人
主权项
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