发明名称 QUARTZ GLASS FILTER UNIT
摘要
申请公布号 JPH06236868(A) 申请公布日期 1994.08.23
申请号 JP19930021060 申请日期 1993.02.09
申请人 TOSHIBA CERAMICS CO LTD 发明人 SHIRAISHI KOICHI;ANDOU KUNIKO;TAKAHASHI KENJI
分类号 B01D39/20;G01N1/02;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 B01D39/20
代理机构 代理人
主权项
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