发明名称 GROWTH METHOD OF COMPOUND SEMICONDUCTOR CRYSTAL
摘要
申请公布号 JPH06236849(A) 申请公布日期 1994.08.23
申请号 JP19930022752 申请日期 1993.02.10
申请人 HIKARI GIJUTSU KENKYU KAIHATSU KK 发明人 SASAKI MASAHIRO;YOSHIDA KIYOTERU
分类号 H01L21/20;H01L21/203;H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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