发明名称 |
SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH06236852(A) |
申请公布日期 |
1994.08.23 |
申请号 |
JP19930023932 |
申请日期 |
1993.02.12 |
申请人 |
MATSUSHITA ELECTRON CORP |
发明人 |
ISHIDA HIDETOSHI;TANAKA TAKESHI;UEDA DAISUKE |
分类号 |
H01L21/203;H01L21/205;H01L21/331;H01L29/205;H01L29/73;H01L29/737;(IPC1-7):H01L21/205 |
主分类号 |
H01L21/203 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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