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发明名称 PLASMA DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06232043(A) 申请公布日期 1994.08.19
申请号 JP19930015184 申请日期 1993.02.02
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 MORITA TAKESHI;NISHIZAWA YASUHIRO
分类号 H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
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