发明名称 |
MANUFACTURE OF FIELD EFFECT TRANSISTOR AND ITS INTEGRATED CIRCUIT |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH06232165(A) |
申请公布日期 |
1994.08.19 |
申请号 |
JP19930018718 |
申请日期 |
1993.02.05 |
申请人 |
SUMITOMO ELECTRIC IND LTD |
发明人 |
KUWATA NOBUCHIKA |
分类号 |
H01L29/812;H01L21/338;H01L29/80;(IPC1-7):H01L21/338;H01L29/804 |
主分类号 |
H01L29/812 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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