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发明名称 THIN FILM FORMATION
摘要
申请公布号 JPH06232076(A) 申请公布日期 1994.08.19
申请号 JP19930016142 申请日期 1993.02.03
申请人 HITACHI LTD 发明人 NAKAMURA YOSHITAKA;KOBAYASHI NOBUYOSHI;GOSHIMA HIDEKAZU;HONMA YOSHIO
分类号 H01L21/205;H01L21/285;(IPC1-7):H01L21/285 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
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