发明名称 MANUFACTURE OF FIELD EFFECT TRANSISTOR AND ITS INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH06232166(A) 申请公布日期 1994.08.19
申请号 JP19930018726 申请日期 1993.02.05
申请人 SUMITOMO ELECTRIC IND LTD 发明人 KUWATA NOBUCHIKA
分类号 H01L29/812;H01L21/338;H01L29/80;(IPC1-7):H01L21/338;H01L29/804 主分类号 H01L29/812
代理机构 代理人
主权项
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