| 发明名称 |
PARTICLE DETECTING SYSTEM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06229903(A) |
申请公布日期 |
1994.08.19 |
| 申请号 |
JP19930040679 |
申请日期 |
1993.02.05 |
| 申请人 |
USHIO INC |
发明人 |
NAKADA SHIGENORI;YAMAGUCHI MASANORI;KAMIYA SEISAKU;SATO SHINTARO;UCHIYAMA TAKAHIRO |
| 分类号 |
C23C14/54;G01N15/00;G01N15/10;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):G01N15/00 |
主分类号 |
C23C14/54 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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