摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen von Mikrostrukturelementen auf einem Substrat, das elektronische Schaltkreise trägt, die mit den Mikrostrukturelementen funktional zusammenwirken. Die Mikrostrukturelemente können sowohl aus Kunststoff als auch aus Metall hergestellt werden. Erfindungsgemäß wird auf dem Substrat eine erste Schicht eines Kunststoffs aufgetragen, die mit dem Substrat eine feste Verbindung eingeht. Auf diese Schicht wird eine zweite Schicht eines Kunststoffs aufgetragen, dem zuvor ein internes Trennmittel zugemischt wurde. Die zweite Schicht wird anschließend mit einem mikrostrukturierten Werkzeug geprägt. Werden Mikrostrukturelemente aus Metall gewünscht, wird die geprägte Schicht anschließen galvanisch abgeformt.</p> |