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发明名称 INTERFEROMETRISCHE EINRICHTUNG ZUR MESSUNG DER LAGE EINES REFLEKTIERENDEN OBJEKTES
摘要
申请公布号 ATA205492(A) 申请公布日期 1994.08.15
申请号 AT19920002054 申请日期 1992.10.19
申请人 TABARELLI WERNER DR. 发明人
分类号 G01B9/02;(IPC1-7):G01B9/02 主分类号 G01B9/02
代理机构 代理人
主权项
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